주요 이력
- 2004 ~ 2007 : 삼성전자 생산기술연구원 기반기술팀 책임연구원
- 2007 ~ 현재 : 전북대학교 기계시스템공학부 교수(광기술연구실: Optical Metro- logy Lab)
- 2012 ~ 2013 : 미국 Univ. of Texas at Arlington 전자컴퓨터공학과 Visiting Professor
- 2015 ~ 현재 : 한국반도체디스플레이기술학회 기술이사
- 2016 ~ 2017 : 전북대학교 신재생에너지 산학관커플링사업단 단장
- 2017 ~ 2018 : 전북대학교 산학협력단 RnBD전략센터장
- 2020 ~ 현재 : 전북대학교 기계시스템공학부 학부장(기계시스템공학과 대학원 학과장)
주요 연구분야
- 고속 광계측기술: Interferometery, spectroscopic ellipsometry, digital holography 연구
주요 연구이력 (국가R&D 사업 등)
- 대표적 혁신연구 성과 (Dynamic SE 혁신기술 개발 및 기술사업화)
주요 개발 기술
- 일체형 편광간섭모듈에 대한 원천기술 개발(NRF 중견과제 및 ERC 사업지원): 반도체공정 핵심계측장비기술인 SE (Spectroscopic Ellipsometry) 기술이 가지고 있는 측정 속도 한계를 극복한 세계 최초의 Dynamic SE 기술에 대한 대한민국 특허등록 (2017,“일체형 편광간섭계 및 이를 적용한 스냅샷 분광편광계”). 해외 2개국(미국, 유럽) 등록을 통한 Global 기술사업화 기반구축
- 삼성미래기술육성과제를 통한 Dynamic Imaging SE 원천기술 개발: 국내외 최대 미래 혁신기술발굴과제 중 하나인 삼성전자(주) 글로벌 R&D 지원 대표사업인 삼성미래기술육성사업에 2017년 6월 선정 (생산기술 분야로는 국내 최초 선정). 2019년도 11월까지 약 2년 간 반도체 검사‧계측공정의 paradigm shift를 목표로 한“차세대공정 균일도 및 defect 검출을 위한 Dynamic Imaging Ellipsometry 기술”과제를 수행하였으며, 현재 개발성과 기술사용화를 진행 중임
추천하는 기술
[일차원 다이나믹 이미징분광타원편광계 및 이를 적용한 라인스캔 검사장치]
- 본 기술은 나노수준의 박막 및 주기나노패턴의 일차원 분광타원편광정보를 스내샷으로 측정하는 방식으로 라인(line) 스캔을 통해 분광타원편광 큐빅(cubic)정보를 고속으로 측정할 수 있는 일차원 다이나믹 이미징분광타원편광계 및 이를 적용한 라인스캔 검사장치에 관한 것임
- 키워드: 라인스캔 검사장치, 분광타원평광계, 엘립소메트리(ELLIPSOMETRY), 반도체 공정관리
협력하고자 하는 기업들에게
- 본 연구팀은 20년 이상의 고속 광계측기술에 대한 다양한 경험을 통해 고속 분광타원편광계측기술에 대한 핵심원천기술을 확보하였으며 기술사용화를 위한 다양한 노력을 하고 있습니다. 본 기술을 사용하고 있거나 관심 있는 많은 기업들에 차별화된 SE solution을 제공해 드릴 수 있습니다. 감사합니다.
