주요 이력
- 박사학위: 2006년 KAIST 물리학과 (플라즈마물리학)
- 2006 ~ 2007: 삼성전자 반도체사업부 책임연구원
- 2007 ~ 2009: KAIST 연구원
- 2009 ~ 2011: LG전자기술원 책임연구원
- 2011 ~ 2012: 미국 휴스턴대학교 연구원
- 2018 ~ 2019: 미국 워싱턴주립대학교 (벤쿠버) 방문교수
- 2020 ~ 현재: 전북대학교 고온플라즈마응용연구센터 센터장
- 2012 ~ 현재: 전북대학교 양자시스템공학과 교수
주요 연구분야
- 플라즈마 반도체 공정 연구: 반도체 공정용 에칭/증착 플라즈마 특성 평가 및 소자 연구
- 대기압 플라즈마 및 응용연구: 저온 대기압 플라즈마 발생장치 개발 및 바이오/표면 응용 연구
- 플라즈마 진단 연구: 플라즈마 광방출 및 광흡수 진단 연구. 전기적 진단 연구
- 열플라즈마 응용 연구: 나노튜브 합성 및 용사코팅 응용 연구
주요 연구이력 (국가R&D 사업 등)
- 한국진공학회 이사
- 국제학술지 (Current Applied Physics) 편집위원
- RnD 사업 대표 이력
- P 철강: 상압 플라즈마 이용 표면 기능화 연구
- S 전자: 반도체공정 플라즈마 VUV 모니터링 및 손상 연구
- 정부과제: BNNT 대량합성연구, 플라즈마 표면 기능화 연구 등 다수
- 핵심연구지원센터 (고온플라즈마응용연구센터) 센터장
추천하는 기술
1. 대기압 플라즈마를 이용한 OLED 소자 박막 봉지 및 그 제조 방법
- 대기압의 열린 공간에서 박막 제조 공정을 진행할 수 있어, 고가의 진공장치가 요구되지 않아 비용 절감 및 우수한 품질로 산소 및 수분 차단 효과가 우수한 박막 증착을 통해 OLED 소자 성능을 향상시킬 수 있는 공정 및 그 장치
- 키워드: 유기발광다이오드, OLED, 대기압 플라즈마
2. 선택적 표면 기능 강화를 통한 유수분리막 필터 및 그 제조 방법
- 각종 표면에 상압 저온 플라즈마 기술을 활용하여 선택적 기능화를 부여하는 기술로써, 기름과 물의 선택의 분리가 가능한 유수분리막, 유수분리소재, 유수분리 필터 및 그 제조 방법에 관한 기술임
- 키워드: 유수분리기, 유수분리막, 플라즈마
3. 태양 전지 보호기판 코팅용 플라즈마 표면 처리 장치 및 방법
- 태양 전지의 적층 구조 중 외부에 노출되는 보호용 유리 기판에 플라즈마를 이용한 표면 처리를 통하여 반사광 감소 및 자가 세정 능력을 향상시켜 태양 전지의 효율을 향상시키는 방법에 대한 기술임
- 키워드: 플라즈마, 태양전지, 태양광, 유리기판, 자가 세정, 소수성
협력하고자 하는 기업들에게
- 플라즈마 기술은 최근 다양한 응용 분야에 활용되면서 사업화 기술로 각광받고 있습니다. 플라즈마 전문가와의 상담을 통해 첨단기술 사업화를 이루시길 바랍니다.
