주요 이력

전북대학교 반도체 소자 및 재료 공학 교수

연구실 : 반도체물성연구소

[학력]

1999. 3 ~ 2003. 2 Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Department of Materials Science and Engineering, Ph.D.

1997. 3 ~ 1999. 2 Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), Department of Materials Science and Engineering, M.S.

1993. 3 ~ 1997. 2 Hanyang University, Department of Ceramic Engineering, B.S.

[경력]

2008. 4 ~ Present Chonbuk National University, Assistant Professor

2005. 4 ~ 2008. 3 Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI), IT Convergence Technology Research Division, Senior Researcher

2004. 2 ~ 2005. 4 Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT), Analytical Engineering Lab., Technical Leader

2003. 3 ~ 2004. 2 Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT), Analytical Engineering Lab., Senior Researcher

2002. 4 ~ 2002. 8 University of California at Los Angeles (UCLA), Department of Materials Science and Engineering, Visiting Scholar

2001. 1 ~ 2002. 1 Hynix Semiconductor Co. Ltd., R&D Division, Visiting Researcher

[수행 프로젝트]

- Member of Electrochemical Society

- Member of Korean Society of Electron Microscopy

- Member of Korean Physical Society

- Member of Korean Ceramic Society

- Member of Korean Crystal Growth Society

주요 연구 분야

[주사 정전용량 현미경 분석용 고유전박막 적층 탐침 제조 기술]

Scanning Probe Microscopy (SPM) 분석 기술 - 나노 소자/소재의 형상을 나노미터 수준에서 관찰하거나, 구조 및 물성을 분석하는 기술

주사 정전용량 현미경(Scanning Capacitance Microscopy (SCM) - 전도성 탐침과 반도체 시료 표면 사이의 정전용량이 불순물 농도의 함수라는 원리 이용하여 반도체에 존재하는 불순물의 분포 상태를 2차원적으로 영상화 (나노 수준의 공간분해능)

추천 기술

[주사 정전용량 현미경용 탑침]

분석 시료의 전처리 과정 없이 시료에 인가되는 전압에 의해 시료 표면의 전하를 효과적으로 포집하여 시료에 존재하는 불순물의 분포 상태를 나노 스케일로 좀더 정밀하게 측정할 수 있는 주사 정전용량 현미경용 탐침에 관한 기술임

주요 특허

- 광 검출기 / 출원번호 10-2021-0088056 / 등록일자 2021-12-06

- 필드 플레이트층 증착을 통해 항복 전압을 향상시킨 쇼트키 배리어 다이오드 제조 방법 / 출원번호 10-2020-0064844 / 등록일자2021-10-27

- 발광 다이오드 및 이의 제조 방법 / 출원번호 10-2019-0102910 / 등록일자 2021-05-31

- 희생 금속 산화막을 이용한 코팅층, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 스퍼터링 훨 / 출원번호 10-2016-0179307 / 등록일자 2019-03-20

- 압전 박막을 이용한 수소 저장 장치 / 출원번호 10-2012-0046614 / 등록일자 2018-12-03

- 수소투과 차단막 및 이를 포함하는 수소저장 장치 / 출원번호 10-2013-0054739 / 등록일자 2015-01-08