[기술특징 및 효과]

- 본 기술에 따른 주사 정전용량 현미경용 탐침은 별도의 개조와 시료의 전처리 과정 없이 정전용량 현미경을 통한 분석이 가능하도록 유전 박막이 증착된 것을 특징으로 함

- 본 기술에 따른 주사 정전용량 현미경용 탐침의 일 실시예는 전도성 탐침부, 및 상기 전도성 탐침부의 표면에 적층 형성되어 측정하고자 하는 시료에 접촉하도록 하는 유전 박막층을 포함함.

- 본 기술에 따른 주사 정전용량 현미경용 탐침의 다른 실시예는 비전도성 탐침부, 상기 비전도성 탐침부 외면를 덮으며 박막 형태로 적층 형성되는 전류를 인가할 수 있도록 하는 전도성 박막층, 및 상기 전도성 박막층을 덮으며 적층 형성되어 측정하고자 하는 시료에 접촉하도록 하는 유전 박막층을 포함함

- 전도성 탐침 상에 유전 특성을 갖는 유전 박막을 적층, 구성함에 따라 반도체에존재하는 불순물의 종류와 양을 분석 할 수 있으며, 불순물의 분포상태를 2차원적으로 영상화할 수 있으므로 시료 전처리 과정 없이 정전용량 현미경 분석이 가능하기 때문에 분석 속도를 향상 시킬 수 있고, 종래의 주사 정전용량 현미경에 부가적인 장치를 추가하거나 별도의 개조 없이 주사 정전용량 현미경 분석 검출력을 높일 수 있는 상승효과 발휘함

[국내·외 기술동향]

- 본 기술 및 이를 적용하는 주사탐침 현미경와 관련하여, 삼성전자, 엘지전자, 동 우화인캠, 엘지 이노텍 등의 국내 기업이 개발활동을 수행하고 있고, 서울대 등의 다수의 대학, 한국과학기술원 등의 다수의 연구기관에서 연구활동을 수행하고 있음

- 본 기술을 포함하는 ‘산업용 나노 계측장비’ 시장은 목표고객층이 명확하고 가격보다는 측정결과의 신뢰 및 재현성 등 품질에 대한 보장을 요구하므로 고수익에 따른 다양한 연구활동이 이루어지고 있으나, 현미경용 탐침 분야의 주목할 만한 리딩 컴퍼니는 없는 것으로 파악됨 Ÿ 반도체, 임베디드 산업 부문 기술이 미세화, 고집적화로 각 산업 부문의 기술발전은 현미경에 대한 수요를 촉발시키고 있으며, 기존 현미경의 결함 분석 능력의 한계 역시 시장 견인의 주요 요인으로 작용하고 있음

- 해외에서는 Bruker(미국), Oxford Instruments(영국), JPK Instruments(독일), NT-MDT(러시아), Hitachi High Technology(일본) 등의 기업이 생산 및 개발활동을 수행하고 있음

[국내·외 시장동향 및 전망]

- 세계 현미경 시장은 연 5.7% 성장하여 2022년에는 8조 7600억원에 이를 것으로 전망되고, 광학현미경 47.5%, 전자현미경 35.2%, 주사탐침 현미경이 11% 범위로 점유함

- 세계 주사탐침 현미경 시장은 2014년 8,344억원에서 2020년 1조 8,778억원으로 증가하였으며 향후 연평균 14.3% 증가하여 2024년 3조 2,049억원 규모의 시장을 형성할 것으로 전망됨

- 국내 주사탐침 현미경 시장의 경우 2015년 약 255억원에서 2021년 590억원으로 증가하였으며, 향후 연평균 23.4% 증가하여 2025년에는 2,037억원 규모의 시장을 형성할 것으로 전망됨

- 연도별 탐침 추정 시장규모는 주사탐침 현미경 국내시장 성장률(23.4%) 및 세계 시장 성장률(14.3)을 고려할 때 국내시장은 2021년 9.7억원에서 2026년 27.9억원으로 성장하고, 세계시장은 232.6억원에서 2026년 453.7억원으로 급성장할 것으로 전망됨